◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成無油真空系統。抽速穩定,可用于多種工況。
◆ 可單獨移動,方便操作。
◆ 具有手動、自動功能。
型號 | 機組穩定抽速(L/S) | 空載極限真空(Pa) | 分子泵型號 | 前級泵 | 機組尺寸(mm,不含羅茨泵) |
FJ3500 | 3500 | 9×10-5 | F-400/3500 | 干泵或旋片泵(可配羅茨泵) | 1100×600×1600 |