• 工藝過程裝備

    FJ 系列單抽口分子泵機組--FJ3500分子泵機組
    ◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
    ◆ 可配置成無油真空系統。抽速穩定,可用于多種工況。
    ◆ 可單獨移動,方便操作。
    ◆ 具有手動、自動功能。

    性能指標

    型號

    機組穩定抽速(L/S)

    空載極限真空(Pa)

    分子泵型號

    前級泵

    機組尺寸(mm,不含羅茨泵)

    FJ3500

    3500

    9×10-5 

    F-400/3500

    干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

    1100×600×1600


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